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日本panasonic晶圓定位傳感器,神視晶圓定位傳感器原理

日本panasonic晶圓定位傳感器,神視晶圓定位傳感器原理

  • 所屬分類:松下SUNX
  • 瀏覽次數(shù):
  • 發(fā)布日期:2016-09-27
  • 產(chǎn)品概述
  • 性能特點(diǎn)
  • 技術(shù)參數(shù)

日本panasonic晶圓定位傳感器,神視晶圓定位傳感器原理

適用晶圓盒 SEMI規(guī)格FOUP晶圓盒/開放式晶圓盒 

電源電壓 12?24V DC±10% 脈動(dòng)P-P10%以下 

保護(hù)構(gòu)造 IP20(IEC) 

使用環(huán)境溫度 0?+55℃(注意不可結(jié)露)、存儲(chǔ)時(shí):?10?+70℃ 

使用環(huán)境濕度 35?85%RH、存儲(chǔ)時(shí): 35?85%RH 

使用環(huán)境照明度 白熾燈:受光面照明度3,000lx以下、熒光燈:受光面照明度1,500lx以下 

耐電壓 AC1,000V 1分鐘 所有電源連接端子與外殼之間 

絕緣電阻 所有電源連接端子與外殼之間,20MΩ以上,基于DC250V的高阻表 

耐振動(dòng) 頻率10?500Hz 雙振幅3mm X,Y和Z方向各2小時(shí) 

耐沖擊 耐久98m/s2(約10G) XYZ方向各5回 

利用反射光量檢測時(shí),反射光量和晶圓的邊緣形狀會(huì)影響檢測結(jié)果。

M-DW1的受光部使用2段受光元件,通過反射光位置而非反射光量進(jìn)行檢測。

因此,受晶圓厚度和反射光量的影響較小。

以往使用激光的激光式定位傳感器,

激光會(huì)從加載口內(nèi)側(cè)穿過FOUP直射操作人員,危險(xiǎn)

氮化膜具有可吸收特定波長光的性質(zhì),

吸收的波長因氮化膜的厚度而不同。

因此,對于使用單波長激光的傳感器,可能會(huì)因光全被吸收而無法檢測。

而LED光源的光具有一定波長段,即使氮化膜晶圓也可準(zhǔn)確檢測。

中心測量距離 45mm 

檢測物體 3英寸以上的半導(dǎo)體晶圓(注2) 

可對應(yīng)檢測面 有受光方向反射面的端面形狀的檢測面(注3) 

檢測角度 12.5±5°(注4) 

晶圓間距 間距3mm以上時(shí),可按通常靈敏度進(jìn)行分離檢測(注5) 

日本panasonic晶圓定位傳感器,神視晶圓定位傳感器原理


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