產(chǎn)品特點壓力開關(guān)SUNX,GX-8MU
如上所述,根據(jù)傳感器的檢測信號讀取晶圓位置時,
請考慮反應(yīng)時間,算出信號ON區(qū)域的中間位置。
如左圖所示,由于交叉狀態(tài)的間距變小,
因此,高反射率的晶圓需要的間距分解能力(極限值3mm)下降,可能導(dǎo)致兩種檢測信號不分離。
并且檢測信號會因靈敏度設(shè)定、晶圓光反射率或檢測狀態(tài)(檢測距離或檢測角度)而變化。
因此,傾斜插入晶圓時,窄間距側(cè)兩種信號發(fā)生重疊,檢測信號有時連續(xù)有時分離。
對于晶圓盒內(nèi)帶定位邊的晶圓,可能會因定位邊的位置
而導(dǎo)致在兩次檢測之中,有一次傳感器穿過定位邊而無法檢測。
因此,傾斜插入晶圓時可能無法輸出分離的檢測信號。
此時,根據(jù)檢測信號算出的晶圓位置信息必定是異常狀態(tài)。
使用安全的紅色LED作為光源,無需任何繁雜的安全措施。
無需使用激光時必備的保護(hù)罩,在美國使用時不需要符合FDA標(biāo)準(zhǔn)。
使用ONE SHOT連接器將檢測頭與控制器連接。配線工時降至 限度,維護(hù)輕松。
在「檢測帶定位邊的晶圓」時一項中,
如果在避開晶圓定位邊的位置安裝傳感器,
則晶圓盒內(nèi)交叉狀態(tài)的間距如下圖變化。
水、油、指紋等會使光線折射、灰塵和垃圾等會阻斷光線。
為了進(jìn)一步安全動作,通過FMEA※追求更高安全性。
使用控制器的安全輸入功能,可輸入控制器的過渡接線、緊急停止開關(guān)和安全門開關(guān)等的安全用接點
(2NC)。將安全輸出集中到一個,力求節(jié)省安全回路的配線、降成本。
利用毛細(xì)管現(xiàn)象,迅速檢測少量的漏液和帶粘性的液體。
投、受光部一體型,無需繁瑣的光軸調(diào)整。
并且,檢測距離及檢測寬度可以覆蓋30mm的廣闊區(qū)域,可對應(yīng)各種不同尺寸的晶圓。
模擬輸出(1~5V)除了系數(shù)調(diào)整功能之外,
還具備方便的偏移調(diào)整功能,可在±0.5V的范圍內(nèi)轉(zhuǎn)換模擬電壓。
安裝檢測頭時,如下圖所示,使用2個M4內(nèi)六角螺栓(請另行準(zhǔn)備),以0.5N·m以下的扭矩緊固。
請勿拆下固定投、受光器和安裝基座的固定螺絲。否則,輸出值會變化。
請勿使用投、受光器側(cè)面的安裝孔以螺絲安裝。
按箭頭方向推入擋塊(鎖定)后,將安裝部前部嵌入35mm寬的DIN導(dǎo)軌中。
將安裝部后部壓住35mm寬的DIN導(dǎo)軌并嵌入其中。
為側(cè)面安裝式的約10mm薄型,因此在狹小空間內(nèi)也可使用。
根據(jù)晶圓尺寸計算出的間距如下表所示。
檢測頭和控制器的總消耗電流為70mA以下。實現(xiàn)光電傳感器同等的功耗。
雖然使用紅色LED作為光源,但仍然具有激光傳感器同樣的高性能,因此可實現(xiàn)檢測。
拆卸時,將一字螺絲刀插入擋塊的凹槽中,向后拉出。
使用螺絲進(jìn)行安裝時,請使用M4盤頭螺絲,并將緊固扭矩設(shè)為1.2N·m以下。
控制器的模擬輸出未裝備短路保護(hù)電路。請勿直接連接電源或容性負(fù)載。
配線時請注意不要對連接器施加靜電。否則會導(dǎo)致故障。
配線錯誤會導(dǎo)致故障。
控制器的電纜延長時,可通過截面積為0.3mm2以上的電纜將全長延長至3m。
檢測頭電纜的長度不能變更。
請勿對電纜引出部施加強(qiáng)行彎曲或拉曳等應(yīng)力。否則會導(dǎo)致斷線。
直流電源請務(wù)必使用絕緣變壓器。使用自動變壓器(自耦變壓器)時,有時會損壞本體和電源。
使用電源發(fā)生電涌時,請將發(fā)生源與電涌吸收器連接,以吸收電涌。
使用時,請避開電源接通時的過渡狀態(tài)(0.5s)。
本產(chǎn)品輸出LED光的受光量。檢測寬度中心部分和
周圍部分的光強(qiáng)度不同,因此,不能尺寸精度,敬請注意。
無需用調(diào)節(jié)器進(jìn)行靈敏度調(diào)節(jié),因此初始安裝非常簡單。
此傳感器配備有一個正常指示燈(綠色),當(dāng)安裝正確時亮起,
另外還有一個錯誤指示燈(紅色),當(dāng)檢測到有滲漏或安裝錯誤
(忘記安裝專用支架)時亮起。因此,工作非常容易檢查。
傳感器安裝不正確或電纜被切斷時,成為非入光狀態(tài),可取得與“有滲漏”一樣輸出。
便于安裝:SUS安裝支架只需用到一個螺絲,
PVC安裝支架只需要到兩個螺絲或一塊膠布。
漏液后進(jìn)行復(fù)原作業(yè)時,也無需更換零件。外形簡單,易擦去漏液。
備有PVC(聚氯乙烯)安裝支架。此種安裝支架可在能腐蝕普通金屬支架的環(huán)境中放心使用。
本體外殼和電纜使用具有耐藥性的氟樹脂。 硫酸、鹽酸等滲漏時也能精 確檢測。
外形簡單,易擦去漏液。并且不用更換零件。
內(nèi)置放大器, 為厚9mm、寬26mm、高19mm的小型規(guī)格??稍讵M窄空間使用。
請避免讓檢測頭的投、受光面粘附這些物質(zhì)。
如有附著,請用干凈的軟布或擦鏡頭紙等擦拭干凈。
測定物體為鏡面體或透明體時,可能無法正確測定,敬請注意。
在傳感器背面設(shè)置前端和中心部兩個檢測部。傳感器前方發(fā)生漏液時,
如果前端檢測部檢測微量的初期漏液,漏液增多直至中心部,則傳感器檢測到異常漏液。
以往,漏液的雙重檢測是在不同的高度設(shè)置兩臺傳感器,現(xiàn)在一臺傳感器即可檢測。
在現(xiàn)有設(shè)備中增添或替換單件傳感器,均可表現(xiàn)出2級檢測的YS。
SQ4系列不僅能檢測漏液,還能檢測忘記設(shè)置傳感器等人為錯誤和傳感器的異常狀態(tài)。
傳感器本體或各安裝件脫落、安裝不妥、電纜斷線時呈非入光狀態(tài),與“發(fā)生漏液”一樣發(fā)出相關(guān)異常信息。
SQ4系統(tǒng)結(jié)構(gòu)的安全性已符合標(biāo)準(zhǔn)。
為了達(dá)到可評價可編程電子控制系統(tǒng)等的功能安全的目的,
在以往的風(fēng)險評估系統(tǒng)(控制類別)中附加了概率論,形成更新后的ISO 13849-1:2006。
傳感器《SQ4-A》和控制器《SQ4-C11》的組合符合類別4/PLe/SIL3。
傳感器單體也符合類別1/PLc/SIL1。
控制器配備兩個獨立的CPU,相互檢查動作狀態(tài)。
信號處理回路和輸出回路雙重設(shè)置,確保安全性。
產(chǎn)品特點壓力開關(guān)SUNX,GX-8MU
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