YS很好；FESTO氣源處理元件MS12-LFR-G-D7-EUV-LD-AS

特征：

通過(guò)受控的過(guò)程確保機器利用

率的化

? 確保系統的氣源處理和氣源的

性

? 可集成或單獨使用

? 易于用 M8/M12 插頭連接

? 確保系統快速、地排氣，

安全性能等級可達 e，獲得

EN ISO 13849-1

? 集成軟啟動(dòng)功能

? 全自動(dòng)監控和調節氣源

? 在待機模式下自動(dòng)切斷氣源

? 泄漏檢測和通知

? 相關(guān)過(guò)程數據的狀態(tài)監控

? 較小規格的流量?jì)?yōu)化增加 18%

? 能效優(yōu)異

? 成本優(yōu)化組合 – 多節省 30%!

? 在氣流方向上只允許排列相同

或較小壓力調節范圍的減壓閥

MS-LFR/LR/LRP/LRE

? 在氣流方向上，只允許以升序

的過(guò)濾精度來(lái)安排過(guò)濾器 MSLFR/LF/LFM/LFX

? 在氣流方向上，油霧器 MS-LOE

不允許排列在過(guò)濾器 MS-LFR/

LFM/LF/LFX、水分離器 MS-LWS

或膜片式空氣干燥器 MS-LDM1

的上游

? 在氣流方向上，過(guò)濾器

MS-LFM 必須安裝在活性炭過(guò)濾

器 MS-LFX 或膜片式空氣干燥器

MS-LDM1 的上游

? 流量傳感器 SFAM 不能直接安

裝在減壓閥 MS-LFR/LR 的下

游；兩者之間必須安裝一個(gè)分

支模塊 MS-FRM

? 在氣流方向上，軟啟動(dòng)/快速

排氣閥 MS-SV 必

YS很好；FESTO氣源處理元件MS12-LFR-G-D7-EUV-LD-AS