介紹德國B(niǎo)URKER毛細管傳感器-1062-4-B-B-008/DC-K1
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與 CMOS 傳感器一樣,毛細管傳感器也是采用層流元件來(lái)產(chǎn)生壓差,
的 MFC 具有100 ms 的響應時(shí)間,
接接觸,因此具有許多特定的YS,
其中之一就是對于流量變化的響應極快。帶 CMOS 傳感器
使小部分流量進(jìn)入旁路
該溫度傳感器的熱量、與介質(zhì)直
傳感器可用于未經(jīng)標定的氣體:
簡(jiǎn)化標定,同時(shí)正確選擇傳感器材質(zhì)可確保毛細管傳感器適用于腐蝕性氣體。
如使加熱電阻保持在一個(gè)恒定溫度,則兩個(gè)溫度傳感器的
如果給電橋提供恒定的電流,其輸出電壓就與這兩個(gè)
細管上,構成半個(gè)惠斯頓電橋。當氣體流過(guò)毛細管時(shí),
在這塊膜上有一個(gè)加熱電阻和兩個(gè)對稱(chēng)的
溫度傳感器(分別位于上游和下游)。
電壓差即可用于測量旁路通道內流過(guò)芯片的氣體的質(zhì)量流量。
通過(guò)采用一個(gè)轉換因子對當前介質(zhì)的測量值進(jìn)行修正。這樣就可
其線(xiàn)性關(guān)系甚至使該
的硅芯片,用于測量流量。采用 CMOS 傳感器技術(shù),
電阻的差值成正比。因此該輸出電壓與流過(guò)的氣體的質(zhì)量流量成線(xiàn)性關(guān)系。
該傳感器的動(dòng)態(tài)特性取決于不銹鋼毛細管的管壁特性,
它起著(zhù)熱障的作用。毛細管傳感器的
這時(shí),R1 的阻值下降,而 R2 的阻值上升。
管道。而主要區別在于:毛細管傳感器不與介質(zhì)直接接觸。
兩個(gè)溫度相關(guān)的電阻纏繞在不銹鋼毛
小部分流量進(jìn)入旁路管道。旁路管道內壁上裝有帶膜
就會(huì )帶走一部分熱量,流向為從 R1 至 R2。
,CMOS 傳感器是在旁路管道中進(jìn)行測量的。主
管道中的層流元件產(chǎn)生一個(gè)必需的壓差,使
響應時(shí)間通常為幾秒,適用于大多數腐蝕性或毒性氣體。
與在主管道中進(jìn)行測量的式傳感器不同
且靈敏度高,即使流量很小時(shí)也是如此。
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