寶德式傳感器，NORM-DIN PG13,5 6-12 EMV IP68 MS

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　　該式傳感器為 CTA（恒溫風(fēng)速計）

　　使其與介質(zhì)溫度（由 RT 測得）之間始終保持一個(gè)恒定的溫差。所需的加熱電

　　流即用于測量流過(guò)該氣體通道的氣體流量。

　　使小部分流量進(jìn)入旁路管道。旁路管道內壁上裝有帶膜

　　電壓差即可用于測量旁路通道內流過(guò)芯片的氣體的質(zhì)量流量。

　　該溫度傳感器的熱量、與介質(zhì)直

　　接接觸，因此具有許多特定的YS，

　　其中之一就是對于流量變化的響應極快。帶 CMOS 傳感器

　　工作原理：控制加熱電阻 (RS) 和測量電阻 (RT) 之間

　　保持一個(gè)恒定的溫差。這兩個(gè)電阻都直接位于氣體通道內；

　　的硅芯片，用于測量流量。采用 CMOS 傳感器技術(shù)，

　　在這塊膜上有一個(gè)加熱電阻和兩個(gè)對稱(chēng)的

　　溫度傳感器（分別位于上游和下游）。

　　此外，該傳感器的結構確保其不易受污染物的影響。

　　與在主管道中進(jìn)行測量的式傳感器不同，

　　如使加熱電阻保持在一個(gè)恒定溫度，則兩個(gè)溫度傳感器的

　　氣體通道中的一個(gè)電阻 (RT) 測量介質(zhì)溫度，另一個(gè)阻值電阻

　　且靈敏度高，即使流量很小時(shí)也是如此。

　　另外三個(gè)電阻位于氣體通道之外。這

　　五個(gè)電阻連接成一個(gè)測量電橋。

　　MFC 中合適的流量調節確保其所測得的質(zhì)量流量非常

　　。由于加熱電阻和測量電阻都直接位于氣體通道內，

　　(RS) 不斷被加熱，

　　的 MFC 具有100 ms 的響應時(shí)間，

　　所以當設定值或實(shí)際值變化時(shí)，該傳感

　　器的響應時(shí)間極短，只有幾百毫秒。

　　CMOS 傳感器是在旁路管道中進(jìn)行測量的。主

　　管道中的層流元件產(chǎn)生一個(gè)必需的壓差，

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