JGH寶帝兩位兩通電磁閥，423845

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其次是介質(zhì)溫度 (T1) 和流量 (Qnom ) 下在 MFMs/MFCs 前后測

得的壓力值（p1、p2）。 用所有這些參數計算出 MFM/MFC 的 kV 值

要求較大入口壓力 (p1max ) 。

設定值與過(guò)程值如何通訊？ 控制器是數字式的。但其接口可以配置

為模擬式或數字式?？蛇x工業(yè)標準模擬信號、RS-232 或 RS-485 數字通訊、

或現場(chǎng)總線(xiàn) (Profibus、DeviceNet、CANopen、Modbus) 通訊。 

–  設置控制功能 – 選擇設定值和實(shí)際測量值的標準信號 

–  設置設定值曲線(xiàn) –  對于標定為兩種氣體的 MFM/MFC：選擇工作氣體 

–  設置二進(jìn)制輸入的功能： ·  切換氣體 ·  啟動(dòng)自動(dòng)優(yōu)化程序（Autotune） 

·  累加器復位或極限值開(kāi)關(guān) ·  設置安全位置 ·  控制操作（設定值直接控制閥門(mén)） 

（參見(jiàn)比例電磁閥的技術(shù)資料）。對于 MFC 的控制 特性來(lái)講，計算出的 

MFM/MFC 的 kV 應大于整個(gè)系統的 kV 值。但是，如果 kV 值太大，

則分辨 率及閥門(mén)的控制質(zhì)量會(huì )受影響。而如果 kV 值太小，則 MFC 

達不到所需的流量。MFC 的閥門(mén)權 限 （閥門(mén)權限：參見(jiàn)附錄）不應小于 

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0.3 - 0.5。用較大流量 (Qnom ) 除以量程，

可計算出小流 量 (Qmin ) 。為了所有運行狀態(tài)下的緊閉功能，

·  打開(kāi)閥門(mén)，如用于吹洗過(guò)程 ·  其它 – 設置二進(jìn)制輸出的功能： ·  故障信號 

· 控制輸出，如用于關(guān)斷閥 · 極限值反饋（流量、累加器） 

MFMs/MFCs 可以標定為氣體或氣體混合物。如果是氣體混合物，

則其準確的組分（以百分 比表示）對于標定非常重要。對于帶式傳

感器或 CMOS 傳感器的 MFMs/MFCs，測量氣體或 氣體混合

物時(shí)都需要采用工作氣體進(jìn)行標定（真實(shí)氣體標定）。而對于帶毛細管

傳感器的 MFMs/ MFCs，則可以采用一種中性氣體進(jìn)行標定，

因為其流量與測量信號之間存性關(guān)系。實(shí)際使 用時(shí)可采用各

工作氣體或氣體混合物的轉換因子對流量值進(jìn)行修正。必須確保 MFMs/MFCs 

各組 件的材質(zhì)兼容性。氣體的相對濕度可接近100 %，

但在任何情況下都應避免出現液態(tài)。應采用預 置過(guò)濾器氣體中的顆粒物。 

已知哪些過(guò)程參數？ 為了選擇適用的 MFM/MFC，必須要知

道一些應用參數。是較大流量 (Qnom )、介質(zhì)的標 準密度 ρN。

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