寶的插入式電磁流量計,0331-C-03,0-FF-MS-FB02-024/DC-08
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接接觸,因此具有許多特定的YS,其中之一就是對于流量變
化的響應極快。帶 CMOS 傳感器 的 MFC 具有100 ms 的響應時(shí)間,
且靈敏度高,即使流量很小時(shí)也是如此。
度(由 RT 測得)之間始終保持一個(gè)恒定的溫差。所需的加熱電 流即
精度 以讀數的± x %,滿(mǎn)量程的 ± y % 表示。一個(gè)值為相 對百分數;個(gè)值為基本百分數。
重復性 以滿(mǎn)量程的 ± x % 表示。重復性是指:重復設置同一個(gè)
設定值時(shí),所產(chǎn)生的實(shí)際測量值的偏差。
kV 值 (流量系數) kV 值也稱(chēng)流量因子或流量系數。它代表氣體或液
體流過(guò) 一個(gè)閥門(mén)時(shí)可以達到的流量,用于選擇閥門(mén)尺寸。kV 值
的單位為 m3/h。它相當于水在溫度 5 - 30?°C、閥兩端壓 差 1 bar 時(shí),流過(guò)閥門(mén)的流量 ( m3/h) 。
cV 值 (流量系數) 類(lèi)似于 kV 值,但是用于英制測量系統,單
位為 US 加 侖/分,相當于在閥兩端壓差 1 psi 和水溫 60 °F 時(shí)測得 的流量。 cV = kV*1.17
用于測量流過(guò)該氣體通道的氣體流量。MFC 中合適的流量調節確保其所測得的
質(zhì)量流量非常 。由于加熱電阻和測量電阻都直接位于氣體通道內,所以
CMOS 傳感器 8711/8701、8712/8702、8713/8703 型
與在主管道中進(jìn)行測量的式傳感器不同,CMOS 傳感器是在旁
路管道中進(jìn)行測量的。主 管道中的層流元件產(chǎn)生一個(gè)必需的壓差,
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使小部分流量進(jìn)入旁路管道。旁路管道內壁上裝有帶膜 的硅芯片,
該式傳感器為 CTA(恒溫風(fēng)速計) 工作原理:控制加熱電阻 (RS) 和測
量電阻 (RT) 之間 保持一個(gè)恒定的溫差。這兩個(gè)電阻都直接位于氣體
通道內;另外三個(gè)電阻位于氣體通道之外。這 五個(gè)
電阻連接成一個(gè)測量電橋。氣體通道中的一個(gè)電阻 (RT) 測量介質(zhì)
溫度,另一個(gè)阻值電阻 (RS) 不斷被加熱,使其與介質(zhì)溫
滿(mǎn)量程范圍/額定流量 Qnom 滿(mǎn)量程范圍是指滿(mǎn)量程值的范圍。
用于測量流量。采用 CMOS 傳感器技術(shù),在這塊膜上有一個(gè)加熱電
阻和兩個(gè)對稱(chēng)的 溫度傳感器(分別位于上游和下游)。如使加
熱電阻保持在一個(gè)恒定溫度,則兩個(gè)溫度傳感器的 電壓差
即可用于測量旁路通道內流過(guò)芯片的氣體的質(zhì)量流量。
該溫度傳感器的熱量、與介質(zhì)直
其小值是小的滿(mǎn) 量程值/額定流量;其較大值是較大的滿(mǎn)
量程值/額定流 量。單位為標準升/分或標準立方厘米/分等。
工作介質(zhì)/標定介質(zhì) 一般情況都采用工作介質(zhì)進(jìn)行標定;特殊情況下采用參 考氣體(如氮氣)。
可調比 小可調流量值與額定流量的比值,如 1:50。
穩定時(shí)間 設定值改變后,MFC 達到新舊流量差值的 95 % 所需的 時(shí)間,單位為毫秒。
響應時(shí)間 流量從 Q1 突變到 Q2 時(shí),MFM 達到新值的 95 %
所需 的時(shí)間: QMFM (t95) = Q1 + 0.95 (Q2 - Q1)
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